• 自動化輸送潔淨化系統
  • Total Solution of AMHS/OHB Systems for Purification
  • 半導體製程中,晶圓於載具(FUOP/POD)時的環境條件控制及潔淨化
  • 華景提供製程機台(Process Tool)、緩衝暫存機台(Buffer Tool)及倉儲系統機台(Storage Tool)
  • 在製程機台中,華景因不同類型的機台,加裝微污染防治系統(Loadport Purge),使晶圓於載具(FOUP)中保持良好的環境,避免化學汙染物產生損壞晶圓,增加良率,且目前已改造超過18種機型。
  • 緩衝暫存機台及倉儲系統部分,晶圓等待製程進行時,為維持載具內環境,在機台增加充氮氣功能。依機台及客戶需求各分為:Standalone、Embedded、OHB N2 (N2 series)




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