• 平台式整合微污染防制系统

  • 在半导体制程中,本模块用于控制晶圆储存环境的温度、湿度及洁净度,华景并提供符合各种机型之客制化尺寸、及多种电压电流支持本系统,故最适合搭配 N2 或 CDA(Clean Dry Air) 使用


    在制程机台中,华景因应不同类型的机台,加装微污染防治系统(Loadport Purge),使晶圆于载具(FOUP)中保持良好的环境,避免化学污染物产生损坏晶圆,增加良率,且目前已改造超过18种机型。







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