• 自动化输送洁净化系统
  • Total Solution of AMHS/OHB Systems for Purification
  • 半导体制程中,晶圆于载具(FUOP/POD)时的环境条件控制及洁净化
  • 华景提供制程机台(Process Tool)、缓冲暂存机台(Buffer Tool)及仓储系统机台(Storage Tool)
  • 在制程机台中,华景因不同类型的机台,加装微污染防治系统(Loadport Purge),使晶圆于载具(FOUP)中保持良好的环境,避免化学污染物产生损坏晶圆,增加良率,且目前已改造超过18种机型。
  • 缓冲暂存机台及仓储系统部分,晶圆等待制程进行时,为维持载具内环境,在机台增加充氮气功能。依机台及客户需求各分为:Standalone、Embedded、OHB N2 (N2 series)







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