RFID system for Critical Material tracking
關鍵材料傳載追蹤識別管理系統
關鍵材料傳載追蹤識別管理系統
RFID System for Critical Material Tracking
Brillian 運用RFID技術活化電子貨架儲存系統,結合AGV無人搬運派工系統!
董事會組織
台積公司董事會的九位董事擁有世界級公司經營經驗或專業領域經驗,他們的豐富學識、個人洞察力和商業判斷力,深受台積公司倚重。九位董事中,五位為獨立董事,分別為:前英國電信公司執行長彼得.邦菲爵士、宏碁集團創辦人暨榮譽董事長施振榮先生、前國家表演藝術中心董事長及前行政院政務顧問陳國慈女士、前應用材料公司董事長麥克‧史賓林特先生以及前賽靈思公司總裁摩西‧蓋弗瑞洛夫先生,獨立董事人數超過全體董事席次的二分之一,董事成員中並有二名為女性。
董事會職責
承續了台積公司創辦人張忠謀博士對公司治理的理念,在劉德音董事長及魏哲家總裁暨副董事長的領導下,董事會嚴肅對待它的責任,是一個「認真、有能力、獨立」的董事會。
董事會的首要責任是監督公司守法、財務透明、即時揭露重要訊息、沒有貪污等。為了善盡監督責任,台積公司董事會建立了各式組織與管道,例如審計委員會、薪酬委員會、隸屬審計委員會的財務專家顧問、內部稽核等。
董事會的第二個責任,是評量經營團隊之績效及任免經理人。台積公司經營階層與董事會之間維持著順暢良好的溝通,專心致力於執行董事會的指示與業務營運,以為股東創造最高利益。
董事會的第三個責任,是決議重要事項,例如資本支出、轉投資、股利等。
董事會的第四個責任是指導經營團隊。台積公司董事會每季定期聽取經營團隊的報告,也花相當多時間與經營階層對話,經營階層必須對董事會提擬公司策略,董事會必須評判這些策略成功的可能性,也必須經常檢視策略的進展,並且在需要時敦促經營團隊作調整。
BR Loadport Solution
Loadport 系統整合最佳方案
Purge Unit for Loadport Solution
微污染防治最佳方案
Laminar Flow Device EFEM
流場污染防治最佳解決方案
UTS(Under Track Storage)
中文產品名稱
Material Handling Solution (BMHS) 晶圓載具電子貨架,各類型RFID自動化產品
Brillian Material Handling Solution(BMHS)
為Brillian推出之FAB 半自動化物料搬運方案。 透過各種智能型物料儲放裝置,整合BMHS系 統及數據庫,在第一時間定位物料位置並決定傳送路線,達到物料傳送最 佳化設計,並透過數據分析提供決策建議及人員績效考核。
產品特色
• 由BMHS系統中央控管各類型電子貨架及各類型智能儲放裝置。
• 整合MES及BMHS管理系統,實時控管廠內所有物料。
• 大幅度降低找貨時間70%以上,提高生產效率。
• 彈性配置電子貨架數量及區域,達到最佳使用率。
• 移機方便,擴充快速容易。
• 提供各種統計數據,便於分析及決策進行,達到人員及儲位配置最佳化。
• RFID Reader輔助生產前確認物料及站點是否正確,大幅減少錯誤風險。
滅火系統動作程序
FIRE EXTINGUISH PROCESS
火災發生時偵測器接收特定訊號『熱源,光源,煙霧』將訊號回傳給控制盤,控制盤認定火災發生,發出訊號使設備動作(啟動閥)(機台停機)以及訊號移報(通知ERC或廠務系統)。
偵測器負責偵測防護區特定情報。當接收(熱源、光源或煙霧等)達到偵測器設定標準,即將訊號送回主系統(控制盤)。
接收到控制盤認定火災發生所發出之訊號,負責噴放藥劑,達到滅火功能。啟動閥啟動,使CO2鋼瓶藥劑釋放,經由管路釋放至防護區。
產品規格
• 200mm eRack (8寸電子貨架,RFID/Smarttag/Barcode)
• 300mm eRack (12寸電子貨架,RFID)
• Reticle eRack (光罩電子貨架,RFID/Barcode)
• Reticle Box Cabinet (光罩盒儲存櫃,Barcode)
• 200mm/300mm/Reticle N2 Cabinet(氮氣櫃,RFID/Barcode)
• 200mm/300mm eCart(電子推車,RFID/Smarttag/Barcode)
• 200mm/300mm RFID R/W Station
• Brillian Auto ID Series(RFID Reader)
以上規格供參考,均可客製化設計。
eRack Management System
三大功能
可監控各區域內貨架的使用情況, 並可隨時進行微調,提升效率。
獨立監控貨架的運行情況, 觀察其使用情形與錯誤的發生。
輔以電子手環,紀錄搬運路線與批貨量,便於人員考核。
Purge Unit for Loadport Solution 微污染防治最佳方案
微污染防治最佳方案
改造Loadport,加裝N2/XCDA充氣模組系統 製程機台中,為了因應不同類型的機台及Loadport,我們提供改造加裝微污 染防治系統(Loadport Purge System)之方案,使晶圓在生產過程於載具 (FOUP) 中能保持良好的環境,避免化學污染物產生損壞晶圓,增加良率。
產品特色
• 改造原有之300mm Loadport 盤面,加裝N2/XCDA充氣淨化功能
• 支持各類型FOUP,可根據不同載具設計Loadport盤面
• 系統獨立,本體安置於Loadport下方,不佔無塵室空間
• 斷電持續充氣功能,即使供電中斷依然能保持FOUP微環境在安全標準內
• 模組化設計,不影響Loadport維修
• 氣體顆粒過濾等級≥0.003um
• 支持EAP由CIM統一控管,整合AMHS自動化作業
• 具備RH/Temp傳感器、壓力開關、流量計,可顯示於GUI畫面並即時監控回傳至CIM/FDC
• 提供0~200 SLM穩定氣流,大幅降低FOUP內濕度及AMC污染,有效延長Q-Time
• 改造快速,並適用於各廠Loadport,例:TDK,Sinfonia,Brooks,Hirata......等
• 本產品通過SEMI S22認證
Laminar Flow Device
EFEM流場污染防治最佳解決方案
EFEM流場污染防治最佳解決方案
改造Loadport,加裝N2/XCDA風刀氣簾系統 晶圓在晶圓傳送盒(FOUP)門開啓後,於微環境內待轉入製程的過程中亦非常容易受到污染,因此當FOUP門開啓時,門前由風刀裝置產生均勻下吹氣簾,隔絕EFEM(Equipment Front End Module)氣流侵入FOUP內部,確保晶圓表面上之相對濕度處於可接受範圍內。
產品特色
利用Brillian Purge Unit for Loadport迫淨方式,使FOUP門開啓時內部相對濕度達到約30%,再以風刀(Laminar Flow Device)產生一均勻氣簾,使晶圓前方位置相對濕度可達到15%以下,其餘位置 晶圓表面相對濕度亦可控制在10%以下,結合此兩種方式為最佳解決方案。
產品規格
• 有效防止因EFEM狀況不佳(即5種情況)所產生的流場將濕氣及AMC帶入FOUP內部,維持FOUP 內相對濕度。
• 裝設容易,僅需將風刀架設於FOUP開口與EFEM交界處上方,填充XCDA/N2即可產生一道均勻氣 簾。
• 風刀產生之氣簾能有效隔絕EFEM流場濕氣及污染,同時結合Brillian Purge Unit for Loadport 系統,即可將FOUP內部濕氣及AMC帶出,達到最佳效果。
• 氣體顆粒過濾等級≥0.003um。
OHB N2 中文產品名稱
華景OHB N2
用於製程前段,安裝於自動化軌道下方,專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品,能搭配半導體AMHS自動化設備使用,且體積小不佔空間,亦能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,縮短OHT的運送時間。
UTS(Under Track Storage) 中文產品名稱
華景UTS(Under Track Storage)
用於製程後段,安裝於自動化軌道側方,與OHB功能相同,專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品,能搭配半導體AMHS自動化設備使用,亦能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,能有效縮短FOUP傳送至設備Load Port 的時間。
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