Advanced Material Handling Module and Integrated Tracking System
先进材料传载模组系统
先进材料传载模组系统
Advanced Material Handling Module and Integrated Tracking System
Brillian 多年研发经验,优化升级传载模组系统,全方位整合之软硬体服务!
董事會組織
台積公司董事會的九位董事擁有世界級公司經營經驗或專業領域經驗,他們的豐富學識、個人洞察力和商業判斷力,深受台積公司倚重。九位董事中,五位為獨立董事,分別為:前英國電信公司執行長彼得.邦菲爵士、宏碁集團創辦人暨榮譽董事長施振榮先生、前國家表演藝術中心董事長及前行政院政務顧問陳國慈女士、前應用材料公司董事長麥克‧史賓林特先生以及前賽靈思公司總裁摩西‧蓋弗瑞洛夫先生,獨立董事人數超過全體董事席次的二分之一,董事成員中並有二名為女性。
董事會職責
承續了台積公司創辦人張忠謀博士對公司治理的理念,在劉德音董事長及魏哲家總裁暨副董事長的領導下,董事會嚴肅對待它的責任,是一個「認真、有能力、獨立」的董事會。
董事會的首要責任是監督公司守法、財務透明、即時揭露重要訊息、沒有貪污等。為了善盡監督責任,台積公司董事會建立了各式組織與管道,例如審計委員會、薪酬委員會、隸屬審計委員會的財務專家顧問、內部稽核等。
董事會的第二個責任,是評量經營團隊之績效及任免經理人。台積公司經營階層與董事會之間維持著順暢良好的溝通,專心致力於執行董事會的指示與業務營運,以為股東創造最高利益。
董事會的第三個責任,是決議重要事項,例如資本支出、轉投資、股利等。
董事會的第四個責任是指導經營團隊。台積公司董事會每季定期聽取經營團隊的報告,也花相當多時間與經營階層對話,經營階層必須對董事會提擬公司策略,董事會必須評判這些策略成功的可能性,也必須經常檢視策略的進展,並且在需要時敦促經營團隊作調整。
UTS(Under Track Storage)
中文產品名稱
foup/FOSB Reticle StandAlone
FOUP / FOSB净化气体充填设备
Brillian N2 Purge Solution是一系列专门为了去除水分与氧气含量、延长Q-Time而设计的氮气充气产品。
包含OHB N2、UTS(Under Track Storage)及Standalone N2 Station等,它除了能配合半导体AMHS自动化设备使用,且体积小不占空间,另外还能配置在离仓储系统较远的制程设备旁,缩短OHT运送的时间。
华景FOSB Standlone用于制程后段以及封装,主要功能与UTS相同,亦为延长Q-Time设计的氮气充气产品,其不同点在于使用的FOUP为FOSB(Front Open Shipping Box),其进出气点只有单一个孔,为单进单出的形式。
Brillian N2 Purge Solution N2净化系列产品由下图三种路线来看,如果FOUP由Stocker出发(路线A),则传送距离较远,而UTS/OHB N2(路线B)或Standalone N2 Station(路线C)则可以有效缩短FOUP 传送至生产设备Loadport(位置A)的时间。
• For N2 and XCDA
• Purge Flow: 0~50 SLM
• Purge Time: 0~600S
• RFID System Embedded
• Mass Flow Controller
• Recipe Setting Available
• Humidity Monitor
• FDC & Alarm Function
• EAP(SECS I/II)
• Touch Plane / RS Interface
产品规格
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安装位置
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自动化系统轨道下/侧方
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主机台旁或≥600mm空间
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主机台旁或≥600mm空间
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流量大小SLM
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≤ 50
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≤ 200
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≤ 200
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制程前后
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前段/后段
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前段/后段
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Barrier & ASYST
Entegris / ShinETsu
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Barrier & ASYST
Entegris / ShinETsu
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Dummy Loadport
晶圆有效传送暂存污染防治设备
传送暂存污染防治设备
结合AMHS及人力运输暂存,加速产品传送生产晶圆装载平台(Dummy Loadport)为自动化传输模组设备中的基础,能有效降低晶圆载具以人力取货的时间、人力运输的闲置、掉落的风险等问题。现场人员可透过晶圆装载平台(Dummy Loadport)的简易操作介面,正确辨识产品资讯,并搭配AMHS系统快速完成产品传送,让现场产品流程运作达到最佳状态,减少人力运输的风险并降低营运成本,确保最佳的产品质量。
产品规格
• 机构件 SUS316 防静电粉体烤漆
• 体积 650mm X 650mm X 1700mm
• 电源输入 AC 100-240V 50 / 60Hz 输出 DC24V 2.5A; DC5V 0.2A 重量75公斤
• 操作环境 恒温气候
• 网路与通讯协定 TCP/IP与SECS
E84 模擬器&光學收發器
E84 模擬器&光學收發器
華景E84模擬器符合SEMI E84 標準規範,用於模擬Active(模擬器)對自動化設備端E84 Passive Sensor進行輸入及輸出的傳輸訊號驗證、測試、除錯 (通過DB-25接口連接E84收發器)。 E84 Sensor 華景 E84光學收發器完全符合SEMI 標準E84 規範,並與其他製造商符合SEMI 標準E84規範的收發器兼容。 華景的E84光學收發器在光學上延伸主動和被動端之間並行I / O通信。
產品特色
華景E84模擬器可單機操作,也可透過RS232連接電腦,即時圖形化顯示訊號時序,同時提供明確的訊號錯誤碼與訊號時間資訊,以利快速分析。 資料儲存則提供2種方式,方式一為單機資料儲存功能(無須其他電腦設備),方式二為連接電腦端的儲存資料。
產品規格
1. 兼容SEMI®E84的並行輸入和輸出部分。
2. 與DMS-HB1和DM-HB1光學數據傳輸設備100%的光學和機械兼容性。
3. 提供用於輸入,輸出和連線信號指示燈LED,以及電源狀態指示燈LED。
4. 與競爭產品相比,質量更高,成本更低。
OHB N2 中文產品名稱
華景OHB N2
用於製程前段,安裝於自動化軌道下方,專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品,能搭配半導體AMHS自動化設備使用,且體積小不佔空間,亦能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,縮短OHT的運送時間。
UTS(Under Track Storage) 中文產品名稱
華景UTS(Under Track Storage)
用於製程後段,安裝於自動化軌道側方,與OHB功能相同,專門為了去除水分與氧氣含量、延長Q-Time而設計的氮氣充氣產品,能搭配半導體AMHS自動化設備使用,亦能配置在離倉儲系統較遠的製程設備旁,能有效縮短FOUP傳送至設備Load Port 的時間。
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